太阳能电池行业在生产过程中产生的污染环境的气体，常见的有用W水清洗多晶硅硅料产生的有氮氧化物、vocs有机废气和硫酸雾。在此过程中会产生各种废气，如果直接排入大气，会对环境和周边人员健康造成很大影响，必须经过尾气处理设备净化处理。
一、废气种类及来源
目前太阳能电池生产所产生的废气主要有酸碱排气、有机排气、硅烷氨气排气及热排气，都需要进行尾气处理设备处理后，废气达标方可排入大气中。其废气来源有以下几个方面：
酸性废气：主要来源来自太阳能电池生产中的制绒和去磷硅玻璃工序产生的HF、NOx等酸性气态污染物。
扩散废气：扩散工序产生的废气主要是CL2。
刻蚀废气：刻蚀废气中的污染物主要为HF、CO2和少量的SiO2。
PECVD废气：PECVD废气主要为未发生反应的SiH4、NH3和反应生成的H2。
印刷废气和烧结废气：印刷和烧结工序废气主要是由于浆料中的有机溶剂等物质挥发的有机气态物质，有机物的产生情况与浆料的成分、含量等因素密切相关。
二、太阳能电池板废气处理方法
太阳能电池板废气主要污染物有：硅烷废气、喷漆废气、酸性废气、有机溶剂挥发。对于不同的废气种类所采用的废气处理方法不同，主要有以下几种方法：
吸收法
喷淋塔使气体从气态转化为液态的过程称为化学吸收。通过喷淋塔内部放置的多面球填料，可以使这一吸收的效率大大的提高，而多面球填料不但增大了气液混合物的接触面积，还极大的提高了吸收效率。其原理是喷淋塔采用药水中和处理，废气通过喷淋塔，与其中的洗涤液发生中和反应进而吸收净化；其中酸性气体通过碱性洗涤液，碱性气体通过酸性洗涤液。其工艺流程是废气由进风口流入，水平流过填料床，洗涤液垂直流过填料床，这种气液逆流方式使废气与洗涤液充分作用，有效清除废气中的杂质。洗涤液流入洗涤塔底部的污水槽，循环泵循环洗涤液，为了达到Z大的去除效率，在洗涤塔顶部的非固定式螺旋喷嘴为填料床提供均匀而连续的洗涤液。在洗涤塔的出口处，净化过的气体流过板式除雾器，除去空气中的水雾。洗涤液的酸碱度通过加药设施精确控制，使得废气中可溶性部分被洗涤液吸附，转化成中性的液体Z终排放出洗涤塔。
燃烧法
太阳能电池板有机废气产生于硅切片废线切割阶段，电池片丝网印刷、烧结阶段，主要成分为挥发性有机气体，有机废气处理一般采用燃烧法。燃烧法是将废气中的有机物作为燃料直接烧掉或将其在高温下进行氧化分解，温度范围为-℃，适用于中、高浓度废气的净化处理。对有机废气进行预处理操作后，将其通入炉体内，加热到一定的温度让废气中的有机废气发生氧化还原反应，生成小分子无机物排向大气。
吸附法
吸附法是采用适当的吸附剂对废气中有机废气成分进行物理吸附，适用于中、低浓度废气的净化处理。
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