湿电子化学品行业深度研究报告未来智库

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1.湿电子化学品:电子行业关键材料,壁垒极高

1.1.湿电子化学品是电子行业湿法制程关键材料

湿电子化学品是集成电路、分立器件、显示面板、太阳能电池等生产湿法工艺制程关键性电子化工材料。湿电子化学品行业上承基础化工原料,下接电子信息材料行业。要求超净高纯,具有产品规格多、单个品种用量少、产品更新换代快、质控要求极高、对生产及使用环境洁净度要求高等特点。虽在下游电子元器件生产成本中占比较低,但其纯度和洁净度对下游产品的良率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响,下游客户认证通常需要一年左右时间。产品定价普遍采用成本加成模式,但由于上游原材料价格波动较大,下游大型客户享有相对更高的议价权,行业整体毛利率波动相对较大。

湿电子化学品主要用于晶圆、面板、硅片电池制造加工过程中的清洗、光刻、显影、蚀刻、去胶等湿法工艺制程。按照组成成分和应用工艺不同可分为通用湿电子化学品(酸类、碱类、溶剂类,如硫酸、氢氟酸、双氧水、氨水、硝酸、异丙醇等)和功能性湿电子化学品(配方产品,如显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等)。

湿电子化学品品类众多,通用化学品中用量较大的品种有双氧水、氢氟酸、硫酸、硝酸等,但在不同领域应用结构有所差别。在晶硅太阳能电池片领域,氢氟酸、硝酸、盐酸用量最大;在面板领域,磷酸、双氧水、硝酸、醋酸是用量最大的清洗、蚀刻用产品;在应用占比逐步提升的半导体领域,硫酸、双氧水、氨水、氢氟酸用量最大,主要用于晶圆的湿法清洗和刻蚀。

原材料价格稳中有降,成本压力缓解。年4季度以来,大宗化工品价格回落明显,目前氢氟酸、硝酸、液氨、硫酸等价格较去年均有明显回落。湿化学品主要原材料价格稳中有降,成本压力明显缓解。我们认为年大宗化工品价格预计总体趋于稳定,不具备大幅上涨的基础,预计湿化学品毛利率总体将较为稳定。

1.2.湿化学品更新换代快,洁净度要求极高

电子化学品下游半导体、面板等行业均为投资规模大,技术更新换代快的行业,半导体“摩尔定律”对IC线宽要求愈发苛刻,高世代液晶面板以及新型显示技术的推陈出新,为提升产品良率对上游湿电子化学品的纯度、洁净度要求越来越高。

湿电子化学品制备的关键在于控制并达到所要求的杂质含量和颗粒度。以半导体领域为例,根据现行通用的SEMI标准,根据IC线宽不同,所需超级高纯试剂可分为G1-G55个等级,其中G5等级要求金属杂质含量达到10ppt等级。

湿化学品的三个主要应用场景对产品的等级要求有所不同,太阳能电池领域对洁净度要求相对较低,仅需达到G1等级。显示面板领域一般要求达到G2、G3等级。半导体领域,分立器件对超净高纯试剂等级要求相对较低,基本集中在G2级;集成电路用超净高纯试剂的纯度要求最高,中低端领域(8英寸及以下晶圆制程)要求达到G3、G4水平,部分高端领域(大硅片、12英寸晶圆制程)要求达到G5等级(10ppt)。

1.3.湿化学品关键生产工艺:提纯、混配、包装

湿电子化学品对纯度和洁净度要求极高,在生产、检测、包装、运输各环节均有严格要求。超净高纯试剂核心生产工艺主要涉及物理纯化的提纯工艺,功能性材料主要为配方性的混配工艺。

超净高纯试剂纯化:湿电子化学品品种众多,产品制备工艺、设备要求各不相同,需根据不同品种特性确定工艺路线。提纯工艺段主要采用蒸馏、亚沸蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏以及升华、化学处理、气体吸收等技术,分离金属杂质。采用超微过滤器(PTFE膜)过滤除去颗粒性杂质。结合不同的颗粒、金属杂质、非金属杂质分析测试技术以达到相应标准的洁净度。一般的蒸馏方法将离子含量降低到10-9级还相对容易,但要继续达到10-9以上对处理设备、容器和环境要求非常高,处理成本也会大幅提高。

功能性材料混配工艺:功能性材料生产核心在于将纯化后的成品进行精密混配,混配的关键在于配方,配方则需要根据不同客户需求定制开发,需要长时间的调配、试制、上线测试。

功能性材料废液回收再生:对于附加值较高的功能性化学品,除销售新液外,材料厂商还会采用废液回收再生的方式实现与特定客户间的内部循环。回收再生产品主要用于对洁净度要求相对稍低的面板厂商(主流半导体客户一般不选用)。面板厂商使用后的功能性材料废液由具备资质的危废处理企业回收并进行初步处理,处理后回售给材料厂商作为原材料,材料厂商对废液进一步提纯混配,并添加部分新液再次出售给面板厂商。再生产品在满足下游客户要求基础上,可以显著降低客户及材料厂商生产成本。

包装、运输:湿电子化学品多为易燃、易爆、强腐蚀的危险品,且对运输过程中洁净度要求极高。规模运输过程多采用内衬PFA、PTFE等高性能氟树脂的槽车,造价较为高昂,且全球仅少数厂家具备供应能力。

2.半导体、面板产业转移升级,湿化学品需求向好

2.1.半导体:12英寸晶圆产线对湿电子化学品需求量激增

湿电子化学品在晶圆加工中主要用于清洗、光刻、蚀刻工艺。晶圆清洗是指在氧化、光刻等工艺之前去除硅片表面的金属离子、有机物、氧化物,对湿电子化学品需求量最大。包括碱性(氨水+双氧水)、酸性(盐酸+双氧水)、有机物清洗(浓硫酸+双氧水)、氧化层清洗(稀释氢氟酸)等不同类型清洗液。光刻工艺段包括光刻胶稀释用溶剂、涂胶前基片表面处理剂、曝光之后的显影剂、以及刻蚀完成后光刻胶去胶剂、剥离液等。蚀刻工艺段根据蚀刻对象的不同所需的蚀刻液不同,但主要以混合强酸蚀刻液为主。根据SEMI统计,年晶圆制造材料中湿电子化学品占比达到10%。

12英寸产线硫酸、双氧水、氨水用量较8英寸大幅提升。硫酸、双氧水、氨水是晶圆加工过程中用量最大的高纯试剂,大量用于湿法清洗、刻蚀等环节。12英寸晶圆产线较8英寸产线对湿电子化学品的等级要求和用量要求均大幅提升。12英寸产线普遍要求湿化学品等级达到G4、G5等级,8英寸产线要求G3、G4等级。12英寸产线对各类湿化学品需求量大幅提升,预计总需求量约为吨/万片(硫酸、双氧水、氨水需求量分别为75/78/20吨/万片),8英寸产线总需求量约为45吨/万片。

大陆晶圆厂集中投产,湿化学品需求增长提速。年以来,中国大陆进入晶圆厂建设及投产高峰期,据SEMI统计,-年全球在建和规划建设的晶圆代工厂共62座,其中26座设于大陆,占比约42%,且主要以12英寸产线为主,据我们统计-年大陆预计将有27条12英寸晶圆产线投产。尤其以中芯国际、华虹宏力、紫光、长江存储、武汉新芯为代表的大陆本土晶圆代工企业进入投产高峰期,带动上游材料需求快速增长。

全球半导体销售额回暖,晶圆代工厂产能利用率提升。全球及中国半导体销售额自三季度起环比增长显著,我们预计年在5G手机快速普及推动下,半导体行业需求有望底部回暖,晶圆代工企业产能利用率将维持高位。

大陆半导体领域湿电子化学品需求量预计将达到60万吨/年。12英寸产线对各类湿化学品需求量约为吨/万片,8英寸产线总需求量约为45吨/万片。假设年图表16所示8英寸及以上产线能够全部投产并达到成熟运行状态,假设产能利用率稳定在80%水平,我们测算年半导体领域对湿电子化学品需求量将达到60万吨/年。根据中国电子材料协会数据,年半导体市场湿电子化学品需求量为28.27万吨,我们测算未来三年半导体用湿电子化学品需求将维持20%年均复合增速。

2.2.面板:OLED及大尺寸LCD面板催生湿电子化学品需求快速提升

湿电子化学品主要用于LCD及OLED面板Array制程。LCD及OLED面板生产工艺在Array制程(TFT玻璃基板蚀刻)工艺流程较为类似。主要包括:TFT玻璃基板清洗-沉积ITO薄膜(氧化物半导体薄膜,用于后续蚀刻)-涂布光刻胶-曝光、显影-蚀刻-光刻胶剥离。所需湿电子化学品主要包括基板清洗用清洗剂;光刻胶稀释剂;显影剂;刻蚀液;剥离液等。

面板Array制程磷酸、双氧水、醋酸、硝酸单位用量最大。在面板加工领域,需求量较大的湿电子化学品主要是:磷酸(41.3%)、硝酸(24.06%)、MEA等极性溶液(15.8%)、醋酸(9.59%),主要在面板的蚀刻加工中充当蚀刻、清洗试剂。面板用湿电子化学品等级要求较半导体相对较低,但随着平板显示向高世代发展,对产品的良率、稳定性、分辨率、反应时间等要求越来越高,相应对高世代线用湿电子化学品的性能要求也越来越高。

高世代LCD、OLED面板产线集中投产,湿化学品需求增长提速。随着面板产业全球产能向大陆转移,国内高世代产线逐步投产,国内面板产能仍处于快速增长期。据IHS预测,年我国LCD面板产能全球市场份额将由年的41%提升至48%;OLED面板产能占比将由年约20%提升至40%。据我们统计中国大陆-年新增高世代LCD面板产线8条,新增OLED面板产线10条,将大幅带动上游湿电子化学品材料需求增长。

液晶面板价格企稳,材料价格承压有所缓解。液晶面板价格自17年中起单边下跌,目前已跌破近五年最低水平,受此影响面板用湿电子化学品价格承压,毛利率下滑明显。三季度以来,液晶面板价格跌势明显趋缓,我们认为当前价格下全行业已普遍面临亏损,成本比拼将加速行业自发的竞争格局调整,中长期来看面板价格已接近底部,大幅下跌空间有限。预计液晶面板价格将有所企稳,材料企业降价压力有所缓解,毛利率预计将趋于稳定。

面板行业用湿电子化学品需求量预计达到59万吨。假设年图表20所示在建面板产线能够全部投产并达到满产,年新投产面板产线爬坡至满产后产能提升50%。根据不同世代面板产线对应的基板尺寸,我们测算至年面板产能较年将新增约万平/月,按照每万平方米面板产能湿电子化学品平均需求量为28吨计算,我们粗略测算至年面板行业用湿电子化学品需求预计将达到约59万吨/年。根据中国电子材料协会数据,年面板市场湿电子化学品需求量为34.08万吨,-年均复合增速14%。

2.3.太阳能电池:行业需求预计稳定增长

太阳能电池工作原理的基础是半导体p-n结的光伏效应,晶硅太阳能电池是目前应用最广泛的电池,基本结构是在p型晶体硅材料上通过扩散等技术形成n型半导体层,组成p-n结。在n型半导体表面制备绒面结构和减反射层以减少光反射造成的光损失,然后在正面、背面分别制备金属电极。

制绒工艺湿电子化学品用量占到60-70%。太阳能电池片主要工艺步骤包括:清洗制绒、磷扩散制备P-N结、硅片清洗、边缘刻蚀以避免短路、沉积反射膜、丝网印刷制备电极等。制绒工艺湿电子化学品消耗量最大,约占整个加工需求总量的60~70%。制绒即通过化学腐蚀的方法将光滑的硅片表面腐蚀成凸凹不平的结构,以减少光反射造成的光损失。

太阳能电池生产过程氢氟酸、氢氧化钾、硝酸、双氧水用量最大。单晶硅制绒工艺一般采用氢氧化钾等碱性溶液作为腐蚀剂,配合盐酸、氢氟酸进行清洗。多晶硅采用硝酸、氢氟酸等混合酸液作为腐蚀剂,采用高纯氢氧化钾,氢氟酸+盐酸混合液进行清洗。近年来单晶硅片占比提升较快,单多晶产能市占比已从年的2:8变为年的3.5:6.5。未来高效电池的市占比不断扩大,预计单晶硅片市占比仍将继续提升,太阳能电池领域氢氧化钾、双氧水需求将明显增加。

行业需求增长稳定,产品附加值相对较低。太阳能电池行业对湿电子化学品的洁净度要求相对较低,仅需达到G1、G2等级,目前国产化率已达到98%。18年“”新政引发光伏行业巨震,降规模,降补贴,降上网电价压力下,产业链相关产品产量增速、价格下滑明显。但随着年以来行业政策趋于明朗,竞价项目持续落地,促使光伏行业平稳过渡到平价上网,行业景气度有望获得提振。据中投产业研究院预测,年中国太阳能电池产量预计将达到GW,-年CAGR为14%。年我国太阳能电池领域湿电子化学品耗用量约28.16万吨,假设单耗不变,我们测算年太阳能电池领域湿电子化学品耗用量将达到48万吨。

2.4.半导体行业升级、面板企业扩产为湿电子化学品注入新机遇

依托半导体领域、面板领域需求快速释放以及高附加值高等级产品占比提升,我们粗略测算年国内湿电子化学品需求量将达到万吨,较年需求量提升83%,CAGR为16%。且预计半导体板块应用占比将持续提升,年预计达到36%。产品毛利率较低的太阳能电池行业应用占比持续降低,预计年为29%。

我们以江化微年上半年主要产品销售均价作为参考,年上半年其主要产品(硝酸、双氧水、硫酸、蚀刻液、剥离液)平均售价为.6元/吨。假设未来产品售价维持稳定(实际销售价格会有一定幅度年降;但高规格半导体应用产品占比提升将一定程度拉升产品均价;同时原材料价格波动对产品价格也有一定影响),我们测算年国内湿电子化学品市场空间约为56亿元,预计年将达到约89亿元。

从湿电子化学品下游行业应用特点来看,太阳能电池生产对湿电子化学品等级要求相对较低(仅需达到G1等级),毛利水平相对较低。伴随我国太阳能电池产量的快速增长,湿电子化学品在太阳能电池领域率先实现国产化,年国产化率已达到98%。但近年来随着海外光伏装机新增需求量下降、国内补贴政策退坡,太阳能电池行业格局调整明显,在湿电子化学品销售中份额下降明显。

受益国内面板行业大规模扩产以及高世代面板产线的不断投产,面板行业用湿电子化学品需求增长稳定,但自16年四季度以来,液晶面板价格持续下行对上游湿电子化学品毛利形成一定挤压,毛利率下滑明显。但随着高世代液晶面板及OLED面板快速投产以及液晶面板价格止跌企稳,我们预计面板用湿电子化学品需求仍将维持稳中有升格局。

随着半导体产业逐步向国内转移、12英寸晶圆产线快速投产以及上游材料国产化率提升,半导体用湿电子化学品需求呈现快速增长。12英寸晶圆产线对湿电子化学品需求量约为吨/万片,等级要求达到G4、G5等级,为8英寸产线需求量(等级要求G3、G4等级)的约5.3倍。预计需求量、产品附加值的大幅提高将为国内湿电子化学品企业带来新的机遇。

从国内主要湿电子化学品生产企业实际情况来看,主要企业纷纷加快在高端半导体材料业务布局,产品快速放量,形成了以平板显示、半导体为重点的经营格局。而在毛利率低的太阳能电池领域,普遍主动减少了销售规模,并且客户集中在行业内现金流状况良好的头部企业。以江化微为例,年半导体领域销售占比提高至42.52%,毛利占比提升至50.04%;太阳能电池领域收入占比下降至13.54%,毛利占比下降至7.95%;显示面板领域占比相对稳定,但受18年毛利明显下滑影响,毛利占比有所下降。

从湿电子化学品产业地区分布来看,我国集成电路、面板行业具有显著的产业集群效应,目前形成了以北京为中心的环渤海京津经济区;以上海、合肥、南京为代表的长三角地区;以广州、深圳、厦门等为代表的珠三角地区;以及以成都、武汉、西安等为代表的中西部地区四大产业集聚区。相应的,我国湿电子化学品企业也形成了以华东地区为主体,逐步在西部地区投资扩产的格局。

3.进口替代空间巨大,国产化率进入快速提升阶段

3.1.高端湿化学品国产化率仍然偏低,进口替代空间巨大

从湿电子化学品发展历程看产业转移,中国湿电子化学品行业正进入发展快车道。湿电子化学品行业的诞生得益于大规模集成电路的出现,全球格局变化也随着半导体产业的转移展开。国际半导体设备与材料组织(SEMI)于年成立了化学试剂标准委员会,世界湿电子化学品开始走向标准化发展阶段。90年代及之前,湿电子化学品市场主要是由美国、欧洲知名化工企业垄断。90年代后期起,由于日本半导体产业迅速发展,日本湿电子化学品行业市占率快速提升。进入21世纪,随着韩国、中国大陆半导体、平板显示器、太阳能电池等产业快速发展,这些地区湿化学品产业发展迅速。

技术水平差异仍是制约国产化的重要因素,资金瓶颈缓解助力湿电子化学品企业技术快速提升。目前国产材料较进口材料在长期稳定性、售后服务、工艺线指导等方面仍存在一定差异。我们认为主要系以下原因:一、投入不足。我国湿电子化学品企业普遍发展时间较短,在发展时间、资金规模方面与国外巨头企业存在较大差距。二、工艺技术落后。国内超净高纯试剂生产工艺主要以传统的蒸馏、精馏工艺为主,能耗高、工艺复杂、产品等级低、生产成本高。而国外企业离子交换、气体吸收、膜处理技术等先进工艺应用较为成熟。三、配套设施不完善。例如产品最终分装及0.1-0.2μm颗粒测试过程中,需要配套10级超净环境,国内部分企业生产环境仍存在一定改进空间。四、分析检测精密度不足。国内部分企业由于资金有限,难以承受价格高昂的高端检测设备,检测仪器设备的精度和准确率不足。同时检测管理、质量体系仍存不足。五、包装、运输容器瓶颈。湿电子化学品存储运输容器一般需内衬PFA、PTFE等高性能氟树脂材质。国产包装容器在杂质溶出量、颗粒脱落量等指标方面与进口容器仍存一定差距,而进口容器造价高昂且供应能力有限。

但随着国家对湿电子化学品行业的政策扶持,以及国内主流企业上市融资顺畅,资金瓶颈不断缓解,目前国内湿电子化学品行业技术不断提升,头部企业部分产品等级已经可以达到G4、G5等级。

湿电子化学品国产化水平仍然偏低,G4、G5级产品进口替代空间仍然较大。目前国外湿电子化学品生产企业已实现G5标准产品的量产,而国内主流产能仍停留在G2、G3标准。国内生产超净高纯试剂的企业中能够达到国际标准并且有一定生产量的企业逾三十余家,而其中仅少数企业掌握部分G3级以上标准产品的生产技术。在产品等级要求较低的太阳能电池领域(要求G1等级),国内已基本实现国产化。半导体领域,6寸及以下晶圆加工湿电子化学品国产化率已提高到82%,8寸及以上晶圆加工产线国产化率缓慢提升至约20%,总体晶圆加工市场湿电子化学品国产化率约为26%。显示面板领域,国内3.5代线及以下用湿电子化学品已基本实现国产化,4.5、5代线国产化率约30%,6代线以上产线湿电子化学品国产化率约10%左右,综合国产化率约25%。

3.2.半导体、面板产能持续向国内转移,湿化学品国产化率快速提升

全球半导体及面板产能持续向中国大陆转移,湿化学品国产化率提升正当时。中国大陆地区的半导体销售额占全球半导体市场的销售额比重逐年上升。全球面板产业经过3次转移后目前形成了中日韩三足鼎立的局面,仍有加速向中国大陆转移的趋势。未来几年随着大陆半导体及面板产业快速发展,预计国内湿电子化学品行业将进入快速发展阶段。

国内企业物流、成本、政策优势突出,国产化率持续提升。湿电子化学品多为易燃、易爆、强腐蚀的危险品,对运输过程中洁净度要求极高,储存、运输成本较高,且进口产品易受船期、天气等因素影响供货及时性。我国湿电子化学品企业多分布在半导体、面板、太阳能电池产能聚集的华东地区,并在西部地区投资扩产辐射中西部市场,地域优势得天独厚。国内原材料、人力成本相对低廉,成本、价格优势突出。政策方面,国家近年来出台了一系列政策均将先进电子材料列为重点发展和支持对象,部分企业获得产业基金扶持,产业规模快速提升,国产化率不断提高。

国内湿化学品企业快速发展,高端市场逐步攻克。国内湿电子化学品企业主要包括两类:一是主要起步于华东地区的专业湿电子化学品生产商,一般布局全系列产品,在某一领域具备相对优势,如晶瑞股份、江化微、科华微电子、江阴润玛等。目前晶瑞股份在半导体领域用量最大的双氧水、氨水、硫酸三个产品方面,均已达到G5等级。江化微超高纯湿电子化学品和功能性材料布局完整,功能性材料相对具有优势。北京科华微电子光刻胶及配套试剂较为突出。二是基于原有产业链进行拓展的传统化工企业,例如氟化工领域的巨化股份、三美股份、多氟多、滨化股份,其中巨化、滨化电子级氢氟酸可达到G4等级,多氟多电子级氢氟酸可达到G5等级。磷化工领域,龙头企业兴发集团基于现有完整磷化工产业链优势大力发展电子级磷酸。国内湿电子化学品企业在产能及产品等级方面不断发展,逐步切入到高端市场。

4.重点公司介绍

4.1.晶瑞股份

苏州晶瑞化学股份有限公司专业从事微电子化学品的研发、生产和销售,主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料和锂电池粘结剂四大类微电子化学品,收购江苏阳恒后产品涉及到基础化工材料、蒸汽。广泛应用于半导体、光伏太阳能电池、LED、平板显示和锂电池等五大新兴行业。公司多种超净高纯试剂如BOE(蚀刻液)、硝酸、盐酸、氢氟酸等产品品质已提升到G3、G4等级,可满足光伏太阳能、LED和面板行业客户需求。半导体材料方面,双氧水、氨水已达到G5等级,引进三菱化学技术的高纯硫酸投产后,半导体用量最大的三个湿化学品品种均将达到G5等级。目前已投产产品已获得上海华虹、中芯国际、长江存储等知名半导体客户的采购或认证。

截至年,晶瑞股份已具备湿电子化学品产能吨/年(超净高纯试剂吨/年;功能性材料吨/年;光刻胶吨/年);锂电池粘结剂产能吨/年;18年收购江苏阳恒后,基础化学材料产能(主要为工业硫酸)达到27.5万吨/年,蒸汽产能33万吨/年。公司IPO募投项目吨/年精细化学品已于年底投产,江苏阳恒吨/年G5等级电子级硫酸项目,眉山晶瑞8.7万吨/年光电显示、半导体用新材料项目预计将于-年陆续投产。全部投产后,公司湿化学品产能(含光刻胶)预计将超过25万吨,且三大主要产品双氧水、氨水、硫酸均将达到G5等级,湿化学品龙头企业地位不断坐实。

……

4.2.江化微

江化微电子材料股份有限公司主营产品为超净高纯试剂、光刻胶配套试剂专业制造商,是目前国内生产规模大、品种齐全的湿电子化学品专业供应商。公司在湿化学品领域深耕多年,目前具备超净高纯试剂及光刻胶配套试剂产能共9万吨/年,现有产品主要为G2、G3等级。半导体领域,公司产品已全面进入6寸晶圆制造产线,同时进入了中芯国际、长电科技8寸以上集成电路封测领域。显示面板领域,已进入中电熊猫6代线、8.5代线供应体系。镇江项目一期5.8万吨超高纯湿电子化学品预计将于年投产,产品定位G4、G5等级,建成后主要以大硅片和12英寸晶圆制程高端半导体领域为主要应用方向。眉山项目计划建设9万吨/年超高纯湿电子化学品,建成后将更好的辐射西南地区平板显示客户。

公司经过长期的耕耘,与下游客户形成了稳定的合作关系。显示面板领域,与中电熊猫、京东方、深天马等均有稳定合作,中电熊猫为公司第一大客户,收入占比预计仍超过30%。半导体领域,公司目前主要集中供应5寸、6寸产线湿化学品,士兰微、华润微电子,方正微电子等客户采购规模较大。太阳能电池领域,公司甄选行业内现金流情况较好的优质客户,主动降低了低毛利产品销售占比。

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(报告来源:东方财富证券)

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